一、激光器参数：

波长：355nm±1nm；

平均输出功率：≥25W@200kHz；

重复频率：0 – 500kHz；

脉冲宽度：＜15ps；

最大脉冲能量：≥125μJ；

光束质量：M2≤1.3；

冷却方式:水冷；

二、设备参数：

扫描范围：150×150mm；

扫描速度：5000mm/s

X/Y行程：300mm×300 mm

A/C轴行程：A轴行程±110°，C轴行程360°

三、供电：

供电均为AC220V单相交流电